自然资源部晒出我国矿产资源“家底” 矿业绿色发展取得
人民网北京12月3日电 （记者杨曦）矿产资源家底数据是基本国情国力的重要组成部分。近日，自然资源部发布的《中
东京电子开发新型蚀刻技术，能够在超400层堆叠3D NAND中形成通道孔
发布时间：2023-06-12 12:52:30
来源：钛媒体
【资料图】
6月12日消息，近日，东京电子宣布成功开发出一种创新蚀刻技术，首次将电介质蚀刻应用带到了低温范围，使得刻蚀速率提高，能够在堆叠超过400层的3D NAND器件中生成通道孔。该创新技术可在短短33分钟内实现10微米深的高纵横比蚀刻，与之前的技术相比，可将全球变暖潜能值降低84%。
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